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Spicer Consulting SC20FAST Magnetfeldkompensationsgerät

Das Spicer SC26 System

 
Beim neuen Spicer Consulting SC26 handelt es sich um eine Variante des bewährten SC24 Magnetfeldkompensationsgerätes. Es wurde optimiert, um hochfrequente Störfelder bis zu 10 kHz (9 kHz typisch) zu eliminieren, wie sie beispielsweise an Fertigungsstraßen in der Chipherstellung beim automatisierten Transport von Wafern entstehen. Gerade diese hohen Frequenzen können die Leistung von in der Nähe befindlichen Elektronenmikroskopen einschränken.
 

 
Das SC26 ist mit einem internen “Sensor Mixer” ausgestattet. Durch den Mixer können zwei Sensoren zu einem "virtuellen Sensor" vereint  werden. Über drei Panoramaregler kann das Verhältnis der Sensoren zueinander - in allen drei Ebenen (X, Y, Z) unabhängig voneinander - so gemischt werden, dass der entstehende virtuelle Sensor zwischen den beiden Sensoren weitgehend frei positioniert werden kann. Der virtuelle Sensor kann sich dadurch direkt in der Kammer eines Elektronenmikroskops befinden.
 
Wie das Spicer SC24 kann auch das SC26 zur Kompensation von Gleichstromfeldern wie auch von Wechselstromfeldern eingesetzt werden. An das SC26 können ein oder zwei AC-Sensoren  angeschlossen werden. Zum Einsatz kommen, wie bei den anderen Spicer Systemen auch, eigens entwickelte "High-Performance Sensoren".
 
Innerhalb von 10 µS passt sich das Spicer SC26 an Magnetfeldschwankungen an. Das dreiachsige System (X, Y, Z) überwacht und löscht Störfelder. Im kritischen 9 kHz Bereich kann eine zwanzigfache Verbesserung des Feldes erreicht werden. Dank Touch Screen und "intelligentem" User-Interface ist die Bedienung der Kontrolleinheit sehr einfach. Das SC26 wird mit der gleichen Software wie das SC24 ausgeliefert.
 
Serienmäßig wird das Spicer SC26 als Stand-Alone Gerät ausgeliefert, das sich einfach an geeigneter Stelle platzieren lässt. Es ist aber auch möglich, das SC26 in ein 19” Rack einzubauen. In diesem Fall benötigt das Gerät mindestens drei Höheneinheiten (je nach Belüftung des Racks und anderer Komponenten im Rack).
 
Feldgenerator
 

Wichtigste Merkmale

Schützt vor hochfrequenten Magnetfeldern wie sie von Transportbändern bei Fertigungsstraßen für 300 mm Wafern ausgehen (9 kHz typisch)

Passt sich automatisch an Feldschwankungen innerhalb von 10 µs an

Überwacht und löscht das Feld

Touch Screen, intelligentes User-Interface, DC Reset

Gleich- und Wechselstromsensoren

Kompensation von Gleichstromfeldern

Kompensation von Wechselstromfeldern

40 bis 200 fache Feldverbesserung bei 60 Hz und Gleichstrom (typisch)

20 fache Feldverbesserung bei Wechselstrom 9 kHz (typisch)

Voll dreiachsiges System (X, Y, Z)

50 mG (5,0 µT) pk-pk Optimierungsrate

Als Stand-Alone Gerät oder 19” Rack-Modul einsetzbar
 

Spicer Consulting SC26

Gruppe

Komponenten

Kontrolleinheit

Spicer SC26 Kontrolleinheit

Sensoren

1 ACFAST Sensor

1 ACFAST + 1 AC Sensor

1 ACFAST + 1 DC Sensor

Spulenkabel

F1 One-Loop Kabel

F2 Two-Loop Kabelsatz

Zubehör

Monitor Softwarepaket

Combiner SC26/AC (ACFAST + AC Sensor)

Combiner SC26/DC (ACFAST + DC Sensor)

Sensorverlängerungskabel

Sensorhalterung

Feldgeneratorkabel

19” Rack Mount Kit

Helmholtzrahmen (nach Maß)

 

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